热蒸发材料:薄膜沉积的基本过程 热蒸发是用于在表面沉积薄膜的基本过程,它涉及加热固体材料直到它变成蒸汽,然后凝结在基板上形成薄膜层。 这一过程的成功不仅取决于汽化方法,还取决于所使用的热蒸发材料的特性。 在本文中,我们将探讨热蒸发所需的材料及其在薄膜沉积中的重要性。 热蒸发简介 热蒸发是一种广泛使用的技术,用于在基板上沉积薄膜。 这个过程包括两个重要步骤:第一步是加热材料直到它变成蒸汽,第二步是将蒸汽沉积到基板上以形成薄膜。 材料的蒸发速率取决于几个因素,例如蒸发温度、材料的物理性质和沉积条件。 热蒸发可用于多种材料,包括各种金属、半导体和氧化物。 热蒸发金属 金属是最常用于热蒸发的材料,它们
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