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什么是旋转靶材?

浏览数量: 11     作者: 本站编辑     发布时间: 2023-05-24      来源: 本站

可旋转溅射靶:薄膜沉积中的关键部件

可旋转溅射靶,也称为磁控管溅射靶,是用于生产半导体、太阳能电池、光学镀膜和其他先进技术材料的薄膜沉积系统的关键部件。 溅射靶由各种材料制成,包括铝、铜和金,用于将这些材料的薄膜沉积到玻璃、硅和其他金属等基板上。 在本文中,我们将讨论什么是可旋转溅射靶及其在薄膜沉积中的重要性。

旋转靶材


溅射靶材简介

溅射是一种通过用离子轰击固体靶材来将薄膜沉积到基板上的过程。 该工艺是在真空室中使用由待沉积材料制成的导电靶进行的。 目标被离子轰击,导致原子从目标材料中喷射出来,然后作为薄膜沉积到基板上。 溅射靶材有各种形状和尺寸,靶材的选择取决于薄膜涂层的所需特性。


可旋转溅射靶:构造和功能

可旋转溅射靶设计为在溅射过程中旋转,这有助于提高沉积薄膜的均匀性并减少靶腐蚀的影响。 目标是一个带有中心孔的平盘,安装在可旋转的轴上。 轴连接到电机,电机以受控速度旋转目标。 靶也被磁化以增强溅射过程。 磁控溅射效应增加了等离子体中带电粒子的密度,从而提高了溅射速率和沉积效率。


可旋转溅射靶材的优点

与传统的固定靶相比,可旋转溅射靶具有多项优势。 一个优点是它们能够减少溅射过程中大颗粒的形成,从而产生更光滑和更均匀的薄膜。 可旋转靶材还增加了用于溅射的靶材的有效面积,降低了靶材利用率和更换成本。 可旋转目标的使用寿命也比固定目标更长,从而减少了维护和目标更换的停机时间。


可旋转溅射靶材的应用

可旋转溅射靶广泛用于各种薄膜沉积应用,包括半导体制造、太阳能电池生产和光学镀膜。 在半导体生产中,溅射靶用于将铝、铜和钛等金属薄膜沉积到硅晶圆上,以形成器件所需的电气和机械性能。 在太阳能电池生产中,溅射靶用于将硅、碲化镉和其他材料的薄膜沉积到基板上,以形成电池的光吸收层。 在光学镀膜中,溅射靶用于将各种材料的薄膜沉积到玻璃基板上以改变其光学特性。


结论

可旋转溅射靶材是用于生产先进技术的薄膜沉积系统的关键部件。 它们在溅射过程中旋转的能力有助于提高沉积薄膜的均匀性并减少靶腐蚀的影响。 与传统的固定目标相比,它们具有多项优势,包括减少大颗粒的形成、提高目标利用率、延长使用寿命以及降低维护和更换成本。 它们在半导体制造、太阳能电池生产和光学涂层等各个行业的广泛应用凸显了它们在现代技术中的重要作用。 可旋转溅射靶的持续研究和开发可能会导致薄膜沉积领域的新创新和进步。


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