金属钛和钛溅射靶材基本相同,均由钛元素组成。区别在于金属钛更像原材料,而钛靶材更像钛产品。钛作为原料可以通过几种方法制成钛溅射靶材,它们广泛用于电子,信息工业,家庭装饰,汽车玻璃制造等高科技领域。在这些行业中,钛靶材主要用于镀膜集成电路,平板等部件的表面面板显示器,或作为装饰及玻璃镀膜等。 钛靶材的性能要求磁控溅射-Ti靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、平面显示屏和家装汽车行业装饰镀膜领域,如玻璃装饰镀膜和轮毂装饰镀膜等.不同行业Ti靶材要求也有很大差别,主要包括:纯度、微观组织、焊接性能、尺寸精度几个方面,具体指标要求如下:1. 纯度 :非集成电路用:99.9%; 集成电路用:99.
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