氧化铌 (NbOx)-喷涂旋转溅射靶

特征

产品化学成分和物理性能：

化学式：Nb2Ox (x<5)

电阻率（20℃）：0.1Ω以下。厘米

成型工艺：喷涂

密度：\"4.3g/cm3\"95%)

纯度：\" 99.95%

杂质含量（单位：PPM，总杂质含量≤500ppm）

包装方式：真空密封包装，采用标准出口木箱。

应用

主要用于low-e玻璃膜系统、薄膜太阳能电池电极膜系统、TFT、半导体。