溅射靶材的养护

溅射靶材的养护不可忽视，因为靶材的清洁度对于溅射镀膜过程中形成的镀膜质量，以及产品质量合格与否有着至关重要的作用，清除那些在靶材上的残留物，可减少靶材表面结瘤，也能提高靶材利用率和生产效率，而且靶材清洁也与后期的养护密不可分.

溅射靶材维护

为避免溅射过程中空腔不干净造成短路和起弧，需要分阶段清除沉积在溅射轨迹中间和两侧的堆积溅射材料。也有利于用户以最大功率密度连续溅射。

溅射靶材存储

我们建议用户将溅射材料（无论是金属还是陶瓷）储存在真空包装中。尤其是贴合靶材必须在真空条件下保存，以免粘附层氧化，影响靶材贴合质量。对于金属靶材的包装，我们建议至少使用干净的塑料袋。

溅射靶清洁

步骤 1，用浸有丙酮的无绒软布清洁溅射靶材；

步骤 2，与第一步类似，用酒精清洁靶材；

步骤 3，用去离子水清洗靶材材料。之后，将靶材物放入烘箱中并在 100 摄氏度下干燥 30 分钟；

步骤 4，用高压、低湿气的氩气冲洗靶材，以去除任何可能在溅射系统中引起电弧的不纯颗粒。

短路和密封性检查

靶材安装好后，需要对整个阴极做短路检查和密封检查。建议用电阻表晃动手表来判断阴极是否短路。在确定阴极没有短路后，可以进行漏水检查，将水通入阴极，以确定是否有漏水现象。