合金溅射靶材五种常用的制备方法

合金溅射靶材五种常用的制备方法合金溅射靶材的要求比其他材料要高，除了如纯度、尺寸、各项杂质含量、缺陷控制等一般要求外，还有表面粗糙度、成份与组织均匀性、杂质（氧化物）含量与尺寸等特殊的要求。所以在溅射合金靶材的制备过程中，其方法是非常重要的，那么常见的溅射合金靶材的制备方法有哪些呢？

1、熔炼法

将合金原料按照一定配比熔炼，然后将合金溶液倒入模具中，形成铸锭，再经过机械加工制成靶材。

2、粉末冶金法

粉末冶金法是将一定配比的合金原料熔炼，浇注成锭然后破碎，将粉碎形成的粉末经等静压成形，然后高温烧结，形成靶材。

3、强电流加热法

强电流加热法是采用大电流的装置，利用大电流使两种或多种原料的粉末发热，然后施加压力，使多种金属反应形成合金靶。

4、热等静压烧结法

热等静压烧结是指通过高温和各向均衡的高压气体的共同作用，使陶瓷粉末、坯体或预烧体达到烧结致密化的工艺方法。将多种金属粉末混合，然后经过装粉和冷等静压预压制、脱气工艺后再进行热等静压压制成型，然后烧结和加工以获得合金靶材。

5、热压烧结法

热压烧结是将干燥粉料充填入模型内，再从单轴方向边加压边加热，使成型和烧结同时完成的一种烧结方法。热压烧结由于加热加压同时进行，粉料处于热塑性状态，有助于颗粒的接触扩散、流动传质过程的进行，因而成型压力仅为冷压的1/10；还能降低烧结温度，缩短烧结时间，从而抵制晶粒长大，得到晶粒细小、致密度高和机械、电学性能良好的产品。无需添加烧结助剂或成型助剂，可生产超高纯度的陶瓷产品。