氮化钽（TaN）-立方体/正方形

特性

氮化钽（TaN）是一种化学物质，钽的氮化物。从化学计量上讲，Ta有多个相Ta₂N到Ta₃N₅包括TaN。

化学式：TaN

摩尔质量：194.955 g / mol

外观：黑色结晶

密度：14.3 g / cm³

熔点：3,090°C（5,590°F; 3,360 K）

水中溶解度：不溶

晶体结构：六边形，hP6

应用

它有时用于集成电路制造中，以在铜或其他导电金属之间形成扩散阻挡层或“胶”层。在进行BEOL处理（约20 nm）的情况下，首先用钽涂覆铜，然后使用物理气相沉积（PVD）涂覆TaN。然后，在进行机械加工之前，通过PVD将这种涂覆有阻挡层的铜涂覆更多的铜，并填充电解涂覆的铜。

它也可用于薄膜电阻器。与镍铬合金电阻器相比，它具有形成耐潮的钝化氧化膜的优势。