五氧化二钽 (Ta2O5)-溅射靶

特征

五氧化二钽，也称为氧化钽(V)，是一种无机化合物，分子式为Ta₂O₅.它是一种白色固体，不溶于所有溶剂，但会被强碱和氢氟酸腐蚀。塔₂O₅是一种具有高折射率和低吸收性（即无色）的惰性材料，这使其可用于涂层。由于其高介电常数，它还广泛用于电容器的生产。

化学式：Ta₂O₅

摩尔质量：441.893 g/mol

外观：白色无味粉末

密度：β-Ta2O5 = 8.18 g/cm³

α-Ta2O5 = 8.37 克/厘米³

熔点：1,872 °C (3,402 °F; 2,145 K)

水中溶解度：可忽略不计

溶解性：不溶于有机溶剂和大多数无机酸，与HF反应

带隙：3.8 - 5.3 eV

磁化率（χ）：-32.0·10⁻⁶厘米³/摩尔

折射率（nD）：2.275

应用

在电子

由于其高带隙和介电常数，五氧化二钽在电子产品中具有多种用途，特别是在钽电容器中。它们用于汽车电子、手机和寻呼机、电子电路；薄膜组件；和高速工具。在 1990 年代，人们对使用氧化钽作为 DRAM 电容器应用的高 k 电介质越来越感兴趣。

它用于高频CMOS集成电路的片上金属-绝缘体-金属电容器。氧化钽可用作非易失性存储器的电荷俘获层。氧化钽在电阻开关存储器中有应用。

其他用途

由于其高折射率，Ta₂O₅已被用于制造摄影镜头的玻璃。