选择铬溅射靶时应注意什么?

在选择铬溅射靶材时，有几个因素需要考虑，以确保靶材满足您的特定需求。以下是一些需要牢记的重要注意事项:

1. 纯度:

溅射靶材的纯度是影响镀膜质量和性能的关键因素。寻找纯度高的目标，理想情况是超过99.99%。

2. 均匀性:

靶材的均匀性对于保证薄膜在衬底表面的均匀沉积是很重要的。靶材的不均匀性会导致不均匀沉积，降低薄膜质量。检查目标有一个低溅射率变化的表面。

3.粒度:

靶材的晶粒尺寸会影响靶材的溅射速率和沉积薄膜的质量。较大的晶粒尺寸会导致较高的溅射率，但也会导致薄膜缺陷。寻找具有一致的细粒微结构的目标。

4. 密度:

靶材的密度会影响靶材的寿命和溅射率。密度较高的目标往往具有较长的寿命和较高的溅射率，而密度较低的目标往往具有较低的溅射率，但可能更容易开裂。检查高密度目标，理想情况下高于99%的理论密度。

5. 尺寸和形状:

目标的大小和形状也是重要的考虑因素。选择一个目标的大小和形状，匹配你的特定溅射室和基板的大小，也要考虑目标的重量和易于处理。

6. 价格:

在选择溅射靶时，价格始终是一个重要的考虑因素。然而，要谨慎选择最便宜的选项，因为价格较低的目标可能有较低的纯度，密度，或其他质量问题，可能导致较低的薄膜质量或较短的目标寿命。相反，选择一个在价格和质量之间提供良好平衡的目标。

7. 键合:

靶材与底板的粘结方法对于保证良好的导热性和机械稳定性很重要。寻找使用扩散键合等高质量键合技术键合的目标，这种技术可以提供更好的导热性和机械强度。

8. 表面光洁度:

靶材的表面光洁度会影响所沉积薄膜的质量。粗糙的表面会产生电弧，降低薄膜质量，而光滑的表面可以提供更好的薄膜附着力和厚度均匀性。检查目标与抛光或精细地面完成。

9. 处理及包装:

目标的处理和包装会影响其质量和性能。寻找在运输和储存过程中防止污染和损坏的保护性和清洁包装的目标。

10. 可靠的供应商:

目标供应商的可靠性和声誉也是一个重要的考虑因素。选择在提供高质量靶材和支持服务(如靶材粘合、回收和定制靶材制造)方面有良好记录和经验的供应商。

选择合适的铬溅射靶材会影响溅射薄膜的质量和性能。在选择满足您特定需求的靶材时，要考虑纯度、均匀性、晶粒尺寸、密度、尺寸和形状以及价格。通过考虑这些因素，可以选择符合您特定要求的铬溅射靶，并提供具有良好附着力、均匀性和其他所需性能的高质量薄膜。