稀土元素之硼化镧溅射靶材

众所周知， 硼化镧是一种具有发射电子能力的热离子材料。它既可以用作直接高温太阳能吸收器，也可以用作电子源，在未来还可以降低聚光太阳能热电子系统的系统复杂性，并在该领域带来真正的创新。硼化镧溅射靶材目前已用于电子元件镀膜。

硼化镧又称六硼化镧，是稀土金属元素La和非金属元素B的化合物，晶体结构为简单立方体，B原子环绕镧原子形成八面体结构。由于其晶体结构，硼化镧溅射靶材制成的六硼化镧陶瓷薄膜具有良好的导电性。

硼化镧溅射靶材具有高熔点、高强度和高硬度。LaB6 结构中的自由电子也赋予它像金属一样良好的导电性和导热性。LaB6 溅射靶具有较高的化学稳定性，在室温下仅与王水和硝酸反应，在 600 ℃ 至 900 ℃ 之间低氧化。

硼化镧其他应用热电子发射（阴极）、等离子增强涂层（PECVD）的等离子源、真空电子束焊接机、电子束表面改性装置、电子束光刻装置、透射电子显微镜、扫描电子显微镜、表面分析装置、放射治疗设备。