氮化硅 (Si3N4)-溅射靶

特征

氮化硅是元素硅和氮的化合物。硅₃N₄是氮化硅中热力学最稳定的。因此，Si₃N₄是商业上最重要的氮化硅并且通常被理解为在使用术语“氮化硅”时所指的。它是一种白色的高熔点固体，具有相对的化学惰性，会受到稀释的 HF 和热 H2SO4 的侵蚀。这非常困难（莫氏硬度为 8.5）。它具有很高的热稳定性。

化学式：Si₃N₄

摩尔质量：140.283 g·mol⁻¹

外观：灰色无味粉末

密度：3.17 g/cm³

熔点：1,900 °C (3,450 °F; 2,170 K)

水中溶解度：不溶

折射率（nD）：2.016

应用

氮化硅用作高级耐火材料，如硅₃n₄-sic 耐火材料与 sic 结合用于高炉炉体和其他部件；如果与 BN 结合作为 Si₃N₄-BN材料，用于水平连铸分离环。硅₃N₄-BN系列水平连铸分离环是一种结构均匀、机械强度高的精细结构陶瓷材料，抗冲击性能好，不会被钢水润湿，符合连铸工艺要求。

用于制备热界面复合材料、光伏解母剂、荧光粉、特种陶瓷的制备。