硅化钼 (MoSi2)-溅射靶

特征

二硅化钼（MoSi₂，或钼硅化物），一种金属间化合物，钼的硅化物，是一种耐火陶瓷，主要用于加热元件。它具有中等密度，熔点 2030 °C，并具有导电性。在高温下，它会形成二氧化硅钝化层，防止其进一步氧化。MoSi的热稳定性₂除了其高发射率，使这种材料与 WSi 一起₂作为用于大气进入的隔热罩中的高发射率涂层的应用很有吸引力。硅₂是一种灰色金属外观材料，具有四方晶体结构（α 变型）；它的β-修饰是六边形的并且不稳定。

化学式：MoSi₂

摩尔质量：152.11 g/mol

外观： 灰色金属固体

密度：6.26 g/cm³

熔点：2,030 °C (3,690 °F; 2,300 K)

晶体结构：四方

应用

二硅化钼加热元件可用于高达 1800°C 的温度，用于实验室和生产环境中使用的电炉，用于玻璃、钢铁、电子、陶瓷的生产以及材料的热处理。虽然元件很脆，但它们可以在高功率下运行而不会老化，并且它们的电阻率不会随着运行时间而增加。由于钝化层的破坏，它们的最高工作温度必须在含氧量低的气氛中降低。

用于加热元件的其他陶瓷材料是例如碳化硅、钛酸钡和钛酸铅复合材料。

二硅化钼在微电子中用作接触材料。它通常用作多晶硅线上的分流器，以增加其导电性并提高信号速度。