等离子技术在表面镀膜技术中的应用

● 溅射沉积 - 溅射是利用高速离子撞击固体溅射靶，使表面分子飞溅并投射到基板上形成薄膜。溅射离子的初始动能约为 100 eV。常见的等离子气体是氩气。 

●等离子体辅助沉积 - 气相化学沉积的化学反应是在高温基板上进行，以获得足够的气体前驱体能量响应。 

●等离子聚合 - 聚合物或塑料薄膜最简单的涂层技术是将其涂在溶剂上，然后再涂在基材上。等离子体聚合涂覆法是将分子单体激发成等离子体，经过化学反应，形成均匀的聚合物，涂覆在基材上。由于基材受到等离子体的冲击，附着力也很强。 

●等离子蚀刻 - 湿碱蚀刻是最简单、最便宜的方法，缺点是碱蚀刻有晶面取向，会引起底切问题。 

●等离子喷涂 - 在高温下工作的金属部件必须用陶瓷覆盖，以防止高温腐蚀。