氮化钽 (TaN)-颗粒

特征

氮化钽（TAN）是一种化合物，氮化物的氮化物。有多个化合物，来自ta的化学分析₂n到ta.₃N₅  包括棕褐色。

化学配方：棕褐色

摩尔质量：194.955克/摩尔

外观：黑色晶体

密度：14.3克/厘米³

熔点：3,090°C（5,590°F; 3,360 k）

水中的溶解度：不溶性

水晶结构：六角形，HP6

应用

它有时用于集成电路制造，以在铜或其他导电金属之间产生扩散屏障或“胶水”层。在BEOL加工（在C.20nm）的情况下，首先使用钽涂覆铜，然后使用物理气相沉积（PVD）;然后通过PVD涂覆该屏障涂覆的铜，并且在机械加工之前，通过PVD涂覆更多的铜，并用电解涂覆的铜填充。

它还具有在薄膜电阻中的应用。它具有在形成耐受水分的钝化氧化膜的静脉内电阻器上的优点。