平面靶材和旋转靶材的区别

市场上常见的溅射靶材主要有平面靶材和旋转靶材

对于平面靶材，其主要优点是结构简单，通用性强，膜层均匀性和重复性好。它最大的缺点是靶材利用率低，一般只有20%左右；当辉光区（磁场分布区）的靶材消耗到一定程度时，会形成条状凹坑，使靶体变薄；当凹坑深度达到一定值时，目标就不能再使用了。

对于旋转靶材，与平面靶相比，其主要优点是结构紧凑，靶利用率更高，这意味着旋转靶可以解决平面靶利用率低的问题。但是，旋转靶材也有一些不可避免的缺点，溅射时整个靶材表面有很多辉光环，无法形成连续的带状辉光。因此，在涂覆大面积膜层时，膜层表面的均匀性较差，难以满足要求，这是旋转靶材的最大缺点。

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