硅化铜 (Cu5Si)-颗粒

特征

硅化铜（Cu5Si），也称为五铜硅化物，是硅与铜的二元化合物。它是一种金属间化合物，这意味着它具有介于离子化合物和合金之间的特性。这种固体结晶材料是不溶于水的银色固体。

化学式：Cu5Si

摩尔质量：345.8155 g/mol

外观：银粉

熔点：825 °C (1,517 °F; 1,098 K)

应用

硅化铜薄膜用于铜基芯片的钝化，用于抑制扩散和电迁移并用作扩散屏障。它涉及直接过程，即有机硅化合物的工业路线。