浏览数量: 1 作者: 本站编辑 发布时间: 2021-07-09 来源: 本站
溅射是一种成熟的技术,能够将各种各样的材料沉积到不同形状和尺寸的衬底上。该工艺是可重复的,可以从小型研发项目扩大规模,生产批次涉及中到大的基材区域。溅射气体通常是惰性气体,如氩气。为了有效的动量传递,射弹质量必须与目标质量匹配,因此,用于溅射的轻元素氖和重元素氪或氙也被使用。活性气体用于溅射化合物。根据工艺参数的不同,化学反应可以发生在目标表面、飞行中或基材上。许多参数使溅射沉积成为一个复杂的过程,但允许专家在很大程度上控制薄膜的生长和微观结构。
今天许多常用的产品都有通过溅射靶产生的涂层。这些涂料包括:
半导体
大多数现代电子产品的基本部件都是用钽溅射靶生产的。这些产品包括微芯片、存储芯片、打印头、平板显示器等。
玻璃涂料
溅射靶被用于生产低辐射镀膜玻璃,也被称为Low-E玻璃,这种玻璃因其节能、控制光线和美观的能力而广泛应用于建筑施工。
太阳能电池涂层
对可再生能源的需求正在上升。采用溅射镀膜技术制备第三代薄膜太阳能电池。