陶瓷靶材按应用来分,可分为半导体关联陶瓷靶材、显示陶瓷靶材、磁记录陶瓷靶材、光记录陶瓷靶材、超导陶瓷靶材、巨磁电阻陶瓷靶材等。 半导体关联陶瓷靶材(HfO₂,SiO₂,Si3N4,Al₂O₃,MoSi,TaSi,WSi,TiSi,PLZT,ITO(In₂O₃/SnO₂)),主要应用于栅极电介质膜.饨化膜,扩散阻挡膜,电容器绝缘膜,透明导电膜显示陶瓷靶材 ZnS—Mn,ZnS-Tb,ZnS-Sm,CaS-Eu,SrS-Ce,Y₂O₃,Ta₂O₅,Si3N4,MgO ,主要应用于电致发光薄规发光层,电致发光薄膜绝缘层, 磁盘 磁记录陶瓷靶材 Al₂O₃, Si3N4 ,主要应用于磁头,磁光盘(MO
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