硅化钛 (TiSi2)-溅射靶

特征

二硅化钛 (TiSi2) 是一种无机化合物。

化学式：TiSi2

摩尔质量：104.038 g/mol

外观：黑色斜方晶体

密度：4.02 g/cm3

熔点：1,470 °C (2,680 °F; 1,740 K)

水中溶解度：不溶

溶解性： 溶于HF

应用

硅化钛用于半导体工业。它通常通过硅化物技术在硅和多晶硅线上生长，以降低局部晶体管连接的薄层电阻。在微电子工业中，它通常用于 C54 相。