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产品明细

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硅化钛 (TiSi2)-溅射靶

  • 12039-83-7
  • TiSi2
  • 221400ST
  • 99.5%
  • 直径:50.8毫米x 6.35毫米
  • 235-082-9
状态:

特征

二硅化钛 (TiSi2) 是一种无机化合物。


化学式:TiSi2

摩尔质量:104.038 g/mol

外观:黑色斜方晶体

密度:4.02 g/cm3

熔点:1,470 °C (2,680 °F; 1,740 K)

水中溶解度:不溶

溶解性: 溶于HF


应用

硅化钛用于半导体工业。它通常通过硅化物技术在硅和多晶硅线上生长,以降低局部晶体管连接的薄层电阻。在微电子工业中,它通常用于 C54 相。


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