硅化锆 (ZrSi2)-溅射靶

特征

硅化锆 (IV) 是一种无机化合物，化学式为 ZrSi₂，由锆和硅原子组成。

化学式：ZrSi₂

摩尔质量：147.395 g/mol

外观：灰色粉末

密度：4.88 g/cm³

熔点：1,620 °C (2,950 °F；1,890 K)

水中溶解度：不溶

溶解性：溶于氢氟酸

应用

用作精细陶瓷原料粉末，用于生产半导体薄膜生产坩埚。