硅化钛 (Ti5Si3)-粉末

特征

二硅化钛 (Ti5Si3) 是一种无机化合物。

化学式：Ti5Si3

配方重量：323.76g/mol

熔点：2130°C

灵敏度：环境温度。

溶解性：溶于氢氟酸。不溶于水。

应用

它用作 CMOS 集成电路中的源极、栅极和漏极触点以及局部互连。它用于 C54 阶段。